泛林 vs. 中微

2009.1.泛林公司以中微公司型號為 Primo D-RIE 的電漿蝕刻機侵害其臺灣專利 TW136706「電漿反應器中之多孔的電漿密封環」，和 TW126873 「 於電漿處理室中大量消除未侷限電漿之聚焦環配置」，向智慧財產法院提起侵權訴訟。2009.9.8.智慧財產法院駁回了泛林之訴，並認定泛林主張遭到侵害的專利是無效的。

攻防過程
1.中微公司以事實回應泛林的指控並指出泛林所提出的被侵權的專利根本就是無效的專利。
2.2009.6.泛林公司僅保留與專利 TW136706相關的部分侵權主張外，撤回了它其他的大多數的侵權主張。